机台外部尺寸 4521
最大需求电力 62KW
工作耗电量 14~15KW
温控精度 ± 0.5℃
强制热风加热区数 上7 / 下7
加热长度 2500 CM
最大加热宽度 标准45CM
N2耗量 800CFH@低于50PPM
冷却方式 强制开/闭路水循环系统